Thông số kỹ thuật WIKA WUD-20-E / WUD-25-E / WUD-26-E
| Thông số | Giá trị |
|---|---|
| Loại thiết bị | Bộ chuyển đổi áp suất độ tinh khiết siêu cao có màn hình, giao tiếp EtherCAT® |
| Model | WUD-20-E / WUD-25-E / WUD-26-E |
| Phiên bản | WUD-20-E: single end WUD-25-E: flow through WUD-26-E: modular surface mount |
| Ứng dụng | Ngành bán dẫn, màn hình, quang điện, hệ thống cấp khí siêu sạch trong dây chuyền sản xuất bán dẫn |
| Môi chất phù hợp | Khí siêu sạch, khí ultrapure trong hệ thống yêu cầu độ sạch cao |
| Giao tiếp | EtherCAT® SDP 5003.2080 |
| Chức năng hiển thị | Có màn hình hiển thị giá trị đo áp suất |
| Dải đo áp suất tương đối | 0 … 2 đến 0 … 400 bar |
| Dải đo áp suất tuyệt đối | 0 … 2 đến 0 … 60 bar abs. |
| Dải đo chân không / compound | -1 … +1 đến -1 … +250 bar |
| Đơn vị đo | bar, psi, MPa, Torr |
| Áp suất làm việc tối đa | Tương ứng với giá trị toàn thang của dải đo |
| Khả năng chịu quá áp | 2 lần dải đo; riêng dải 2 bar chịu quá áp 4 lần |
| Khả năng chịu chân không | Có |
| Độ chính xác | ≤ 0.3% span; với dải đo 2 bar là ≤ 0.6% span |
| Độ chính xác màn hình | 1% span ±1 digit |
| Độ không tuyến tính | ≤ 0.1% span BFSL; với dải đo 2 bar là ≤ 0.15% span |
| Sai số điểm zero | ≤ 0.25% span |
| Điều chỉnh điểm zero | ±3.5% span |
| Nhiễu tín hiệu | ≤ ±0.06% span |
| Độ lặp lại | ≤ 0.12% span |
| Ảnh hưởng nguồn cấp | 0.1% / 10 V |
| Total probable error | 0.5% span trong dải -10 … +60 °C |
| Hệ số nhiệt điểm zero | ≤ 0.1% span/10K |
| Hệ số nhiệt span | ≤ 0.15% span/10K |
| Độ ổn định dài hạn | ≤ 0.25% span/năm; với dải đo 2 bar là ≤ 0.4% span/năm |
| Độ phân giải | 0.01% span |
| Tốc độ truyền EtherCAT® | 100 ms |
| Chức năng giám sát | Giám sát lỗi cảm biến và lỗi điện tử |
| Nguồn cấp | DC 10 … 30 V |
| Công suất tiêu thụ | < 2 W |
| Thời gian đáp ứng | < 300 ms |
| Thời gian khởi động | < 30 giây |
| Kết nối quá trình WUD-20-E | ¼" swivel union nut, ¼" male swivel nut, ¼" weld stub, ¼" T-connector |
| Dải đo tối đa WUD-20-E | 400 bar với ¼" swivel union nut / ¼" male swivel nut; 20 bar với ¼" weld stub |
| Kết nối quá trình WUD-25-E | ¼" fixed male nut, ¼" swivel union nut, ¼" weld stub |
| Dải đo tối đa WUD-25-E | 400 bar |
| Kết nối quá trình WUD-26-E | MSM C-seal 1 ⅛", MSM W-seal 1 ⅛", MSM C-seal 1 ½", MSM W-seal 1 ½" |
| Dải đo tối đa WUD-26-E | 50 bar |
| Kết nối điện | M8 x 1 3-pin theo DIN EN 61076-2-104 và Ethernet CAT5e RJ45 có nối shield |
| Cấp bảo vệ | IP20 |
| Sơ đồ chân M8 x 1 3-pin | U+ chân 4, U- chân 1.3 |
| Sơ đồ chân RJ45 | TxD+ chân 1, TxD- chân 2, RxD+ chân 3, RxD- chân 6 |
| An toàn điện | Chống đảo cực U+ với U-, điện áp cách điện DC 500 V |
| Vật liệu kết nối quá trình | Inox 1.4404 / 316L theo SEMI F20 hoặc inox 1.4404 / 316L VIM/VAR |
| Vật liệu cảm biến màng mỏng | 2.4711 / UNS R30003 |
| Vật liệu vỏ | Inox 1.4301 / 304 |
| Vật liệu đầu hiển thị | PA12 |
| Xử lý bề mặt | Đánh bóng điện hóa theo SEMI F19 |
| Độ nhám bề mặt | Điển hình Ra ≤ 0.13 µm (RA 5), tối đa Ra ≤ 0.18 µm (RA 7) |
| Kiểm tra rò rỉ helium | < 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s theo SEMI F1 |
| Nhiệt độ môi chất | -20 … +100 °C |
| Nhiệt độ môi trường | -10 … +60 °C |
| Nhiệt độ bảo quản | -10 … +60 °C |
| Độ ẩm | 0 … 85% RH, không ngưng tụ |
| Chống rung | 7.5 mm hoặc 2g trong dải 1 … 200 Hz; 5g trong dải 200 … 500 Hz |
| Chống sốc | 15g trong 11 ms; 30g trong 6 ms |
| Độ cao làm việc | ≤ 2,000 m so với mực nước biển |
| Mức ô nhiễm | Pollution degree 2 |
| Cấp quá áp | Overvoltage category I |
| Đóng gói | Đóng gói đôi theo SEMI E49.6 và đóng gói riêng từng sản phẩm |
| Môi trường lắp ráp và đóng gói | Phòng sạch cấp 5 theo ISO 14644 |
| Nhãn sản phẩm | Nhãn WIKA dạng dán |
| Chứng nhận / tiêu chuẩn | EU Declaration of Conformity, EMC, Pressure Equipment Directive, RoHS, EtherCAT® certificate of conformity, China RoHS |
| Chứng chỉ kiểm tra | Báo cáo kiểm tra 3 điểm đo, sai số tổng tối đa và tốc độ rò rỉ helium |
| MTTF | > 100 năm |
| Khối lượng | WUD-20-E: khoảng 125 g WUD-25-E: khoảng 225 g WUD-26-E: khoảng 160 g |
| Thông tin đặt hàng | Model / Độ chính xác / Đơn vị / Loại áp suất / Dải đo / Kết nối quá trình / Tín hiệu đầu ra / Kết nối điện / Firmware / Đơn vị áp suất chuyển đổi / Vật liệu tiếp xúc / Chứng chỉ / Chứng nhận / Thông tin đặt hàng bổ sung |
Liên hệ
Vui lòng liên hệ Hải Phòng Tech để biết thêm thông tin về sản phẩm.
